前言
本书是"模拟IC版图"知识体系的系统化整理。
作为一名从业十年的版图工程师,我将工作中积累的知识点梳理为结构化的章节,希望能帮助读者建立完整的版图知识框架。
本书将持续更新,逐步覆盖从器件基础到高级版图技术的完整内容。
第 1 章:半导体工艺流程
本章概述 CMOS 工艺的基本流程,为后续版图设计打下工艺基础。
1.1 CMOS 工艺概述
CMOS(互补金属氧化物半导体)是现代集成电路的主流工艺。NMOS 和 PMOS 在同一衬底上共存,通过光刻、刻蚀、离子注入等步骤构建。
1.2 光刻
光刻是版图设计最直接的工艺对应——版图上的每一层(Layer)通常对应工艺中的一块光刻掩模版。
1.3 刻蚀与沉积
刻蚀和沉积步骤定义了器件的三维结构,版图设计中的间距规则、密度规则等都源于这些工艺约束。
后续章节将详细展开每个步骤对版图设计的具体影响。
第 2 章:MOS 器件物理基础
第 3 章:器件匹配技术
第 4 章:Latchup 防护
术语表
| 术语 | 英文 | 说明 |
|---|---|---|
| 版图 | Layout | 集成电路的物理设计,定义了各层掩模的几何图形 |
| 匹配 | Matching | 保证两个或多个器件电学特性一致性的版图技术 |
| 闩锁 | Latchup | 由寄生 PNPN 结构触发的大电流现象 |
| 共心对称 | Common-Centroid | 以共同中心布局器件以减小梯度误差 |